但EUV光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少1.5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。

“不是我急，陆总，一旦EUV预生产成功的话，英特尔、三星、台积电也许不出三五年，就能得到EUV光刻机的生产线……”

尹志尧话里无不透着焦虑。

“尹教授，这台EUV，A**L、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来？”陆飞透过面罩的玻璃，直直看去。

“从林本坚提出浸润式微影技术的理论，到现在，大概十三、十四年。”

梁孟松站出来回答。

“对嘛，这不就结了。”

陆飞拍了拍尹志尧的肩膀，“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才，也要花13年的时间，何况是我们呢！”

“陆总说的没毛病！”

孙红军机敏地当捧哏。

“咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nmArF干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。”

陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。”

“可不是嘛，快赶上小霓虹了！”

孙红军嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。

今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！

“所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，ArFi会有的，EUV也会有的！”

陆飞环顾四周，激励士气。

“陆总！”

尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。

而且满世界找帮手，比如徕卡。

“老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？”

陆飞侧目望向孙红军。

“已经拟出个初步方案，就等您来定。”

孙红军应了一声。

“嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！”

陆飞双手叉腰，“65nm有了，还怕没有ArFi？没有EUV？接下来我们就向32nm、28nm，甚至28nm以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！”

“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。” 本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第3页/共5页