此刻,他对陆总的看法开始发生三十度的小转弯。
“校长,之前我对陆总有些误解,你不要见怪。
“现在我才明白,为什么你们都这么不正常。有这样一个神一样的老板,难怪大家都要去解读陆总。”
马教授态度诚恳为自己之前的冒犯陆总的决策而道歉。
路舟露出一脸欣慰的表情:
“教授,你能明白这一点,我真的替你高兴。”
“对了,项走日也功不可没,一百万的课题资金我批了。”
马在田教授为项走日感到高兴。
当一百万奖学金下发给项走日后,这位零分强者居然一点也不感兴趣。
事后,马教授才知道,项走日家里的是拆迁户,家里的房子多到连他自己都不知道有多少。
搞定氮化镓成品后,接下来就是如何通过逆推工程,来设计和考虑“氮化镓的量产工艺”。
这又是一个史诗级的难题。
研讨会上,马教授在黑板上写了三行打字。
【衬底材料】
【欧姆接触】
【封装工艺】
“目前西方世界主流量产工艺以碳化硅、蓝宝石等作为衬底材料。蓝宝石无法从自然界中直接获取,需要人工制备。
“虽其制备简单、价格较低,热稳定性良好,但其晶格常数和线膨胀系数,与氮化镓相差较大,制备出的氮化镓薄膜可能存在裂纹等缺陷。
“同时,衬底单晶缺乏导致异质外延缺陷密度较高。
而另一个衬底材料碳化硅等,制取成本较高。
“此外,氮化镓这种材料,极性大,难以实现良好金属-半导体欧姆接触,工艺制造极其复杂。”
“氮化镓基板尺寸因此无法突破6英寸晶圆的大小,限制了大规模生产。
“现在,我们不求次品率高和成本高的问题。就解决一个问题,那就是怎么量产。”
讲到这里,马教授开始点名:
“项走日同学,你负责攻克蓝宝石衬底,孔无动你负责攻克碳化硅衬底。”
“陈忠华,你来负责封装工艺。”
被点到名字的三人都很淡定,显然是在这段时间内已经熟悉了山川大学的教学风格。
安排完任务,马教授看了一眼笔记本,顿时感觉压力如山。
除了氮化钾量产工艺外,光刻机技术也是重中之重。
“现在世界上最先进的商业量产光刻机,支持至少22纳米以下制程的芯片生产。
“据说荷兰asml公司在去年推出世界上第一款极紫外光刻机(euv)的试制品,号称可以支持10纳米及更小制程的芯片制造。”
“国内魔都微电的老光刻机就只有90纳米~120纳米。就算是买来,也不可能满足陆总的100毫米口径要求。”
光刻机技术关系到数字变频技术,如果一个微波炉的氮化镓固态功放,无法实现集成电路,和数字化模拟微波信号。
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