ArF技术路线突破之后,ArF的波长是193nm,他最多能够制造65nm的芯片。
如果要制造40nm制程以下的芯片,需要找到160nm以下的光源。
尼康和佳能等企业选择的是157nm的F2激光,而A**L找到了光源做介质直接一步到位了。
当然没有加一层水那么简单。
“我关于ArF技术路线一直认为是有办法解决的。
首先是需要专门针对ArF光源设计对应的光刻胶,其次是研发抗反射涂层,然后是改进光刻机的光学系统,找蔡司定制更先进的透镜。
来实现更高的数值孔径和分辨率。
同时在曝光过程中进行优化。我专门针对ArF光源设计了一套分辨率增强技术。
包括辅助特征、离轴照明、双曝光技术等,用以改善图案传输质量和提高分辨率。”林本坚很兴奋,难得见到这么懂ArF技术的同行。
其他懂这玩意的都签了保密协议,林本坚和他们聊的很不尽兴。
华国差的不仅仅是光刻机,差的是整个高端制造业,即便能造出光刻机,光学镜头也能卡你脖子。
本站域名已经更换为www.adouyinxs.com 。请牢记。不过蔡司是德意志企业而且没上市,阿美利肯的长臂管辖管不到蔡司。
周新听完之后感慨对方不愧是大师级人物,还没有加入台积电已经有完整的计划了。
同样一件事,有的人是纸上谈兵,有的人是决胜千里之外。
华国价值观以结果为导向,周新知道林本坚未来的成就,更别说林本坚说的这些都是绝对的干货。
又和林本坚探讨了一番ArF技术路线的未来后,周新问:“林伯,我打算成立一家光刻机公司,我需要真正懂行的人来帮我。
你有没有意愿来帮我做事,我给你的职位是研发主观。
首批研发资金十亿美元,我给你百分之二十的股份,但是你加入之后需要签竞业协议,同时莪们的光刻机公司会放在华国。”
林本坚听完前半句话想马上答应下来,十亿美元的研发资金,百分之二十的股份。
这是何等的信任,光是十亿美元的研发资金,这家企业也最少值10亿美元。
直接就是给你两个亿。
听完后半句他心一凉:“Newman,我知道你是华国人,希望帮助华国在半导体领域有所发展。
我也是华裔,在有能力和有机会的前提下,我同样希望为华国的半导体行业发展进步贡献自己的力量。
但是光刻机的研发,非常依赖于和芯片制造厂商之间的合作。
华国没有什么成熟的芯片制造厂商,我们把研发基地放在华国,很难有所进展。
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