“目前我们正在全力攻克控制系统,纠偏系统稍稍靠后,但也安排了团队进行攻关。”
“当然如果从岛国进口的相关零件,很快能到我们手中,可能三个月内,我们就能实现击打频率突破2万次。”
岛国?
三个月?
卫明摇头笑了笑,道:“缺什么零件,就交给我吧,我给你们捣鼓出来。”
接着他连续捣鼓了三天时间。
激光频率控制器。
高灵敏距离感应器。
还有这个什么器,那个什么装置,以及卫明叫不出专业名称的东西。
三天内他一共搞了十几个。
然后让蒲伟才他们,把这些装置,塞入到控制系统中,以极高精度要求,组装到了一起。
再开启了试运行。
“释放锡滴,初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。
“开始释放。”
“两次击打成功,摊平形状完美,激发效果完美!”
“增加释放频率。”
“每秒50次试验成功。”
“每秒500次试验成功!”
“每秒5150次试验成功!追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。
“继续增加!往上加高一点!”
蒲伟才也开始激动了,这才第一次进行调试而已,居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录?
“每秒5500次试验成功,创造新的纪录!”
“再加!”
每秒7000
每秒9000
每秒1万
……
一直加到每秒2万,满足使用频率要求。
所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功!
“再加,再往上加!”
每秒3万
每秒4万
每秒4万5
每秒5万!
“锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功!”操作员毫无形象的狂喊。
“转化光强是额定光强的2.5倍!”
向广林眼睛通红的大吼:“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈EUV的两倍以上,我们一台,能顶他们两台!”
“你们别叫!”
蒲伟才高高挥起了手,目光盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道:“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间?你们别吵,你们的噪音,可能影响到它的发挥。”
所有人都安静了下来。
屏住了呼吸。
目光都死死盯上了持续时间。
5分钟
15分钟
第29分38秒
由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运行。
啪!
蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道:“3分钟就足够了,只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时!我们只需设计一套非常简单的纠偏系统,就能让它长期稳定的工作了,整个系统的复杂度至少降低10%,为我们省下大量的时间!”
“太厉害了,太神奇了!”
作为项目负责人,他自己也大呼小叫:“光源问题彻底解决了,双工台现成就有,镜头完全能用,我们的EUV光刻机,完成度至少超过90%!”
“我们完全看到胜利的希望了!”
说着,他泪如坝崩,几欲捧面大哭一场。
坚持十几年了!这一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已然触手可及。
见他如此,跟他一个团队的其他成员,也都擦着眼角,发出呜呜的声音。
“还没真成功呢,眼泪不如留到庆功宴。”
一个略有些扫兴的声音传来。
却听卫明说道:“蒲博士,刚才你还一脸抗拒的样子,怀疑我打磨过的东西不能用,现在呢?信我说的话了吧,零件问题,对我公司不是个问题,你说的技术难点,感觉也不怎么难。”
“没错没错。”
蒲伟才连忙擦泪,露出一张童真笑脸:“卫总你说的没错,只要卫总出马,光刻机,没有任何什么难点,我相信在卫总的带领下,我们能解决一切技术问题!”
他这次是真心服了,眼里只有崇拜。
“没错,完全多亏了卫总。”
“卫总辛苦了,给卫总捶捶肩。”
“卫总的神级打磨,能创造工业上的奇迹!”
“卫总才是最大的功臣,感谢卫总。”
又一波马屁声覆盖而来。
这一次,蒲伟才不仅没有咳嗽制止,反而是里面拍的最厉害的那个。
当然,马屁听一小会就够,卫明让他们马上投入到工作中,继续寻找问题,解决问题,直到没有任何问题为止。